产品简介

COSMOS XP-703DIII便携半导体材料气体检漏是专为半导体工厂及石油化学现场设计的微量气体泄漏检测设备。该机型采用自动吸引式采样与热线型半导体传感技术，可同时对砷烷、磷化氢、硅烷、氢气五种气体进行高灵敏度响应。整机配备泵自动停止与自动排气模式，结合IP22防护构造，能够在0~40℃、800~1100hPa大气压环境下稳定运行。约190g的轻量化机身配合两节5号干电池约12小时连续

COSMOS XP-703DIII便携半导体材料气体检漏 —— 性能与用材解析

该机型以热线型半导体式传感器为检测核心，利用半导体材料在接触目标气体时电阻值发生变化的物理特性，将浓度信号转化为可测量的电信号输出。传感器元件采用高稳定性陶瓷基板与贵金属催化层复合结构，在保证响应灵敏度的同时具备良好的抗环境干扰能力。仪器内部气路系统选用耐腐蚀氟橡胶密封件及不锈钢导气管接口，有效应对砷烷、磷化氢等腐蚀性气体对内部元件的侵蚀，延长核心部件的使用寿命。

采样系统采用自动吸引式设计，内置微型隔膜泵以恒定流量抽取待测气体，配合高精度流量控制阀确保每次检测的气体流速一致，避免因流量波动导致读数偏差。泵体设置有自动停止保护机制：当导气管发生异物堵塞或弯折导致流量低于安全阈值时，控制系统立即切断泵电源，防止泵体因堵转过热而烧毁。此外，仪器配备自动气体排气模式，每次检测完成后自动将残留在传感器腔体内的气体排出，减少高浓度气体对传感器的持续接触，从而保持传感器的基线稳定性。

外壳采用高强度工程塑料一次成型，表面经过防滑处理，握持部位符合人体工学设计，适合长时间手持巡检作业。整机外形尺寸为W38×H130×D32 mm，重量约190g（含电池及皮套），配合标配的手提挂绳可悬挂于手腕或腰间，便于高空攀爬或狭窄空间内的单手操作。保护等级达到IP22相当标准（须安装皮套），其中IP2X表示可防止直径12.5mm及以上的固体异物进入机体内部，IPX2表示与垂直方向呈15°范围内掉落的水滴不会引起内部异常，满足一般工业现场对防尘防滴的基本要求。

电源系统选用两节5号碱性干电池（LR6）供电，在常温常湿条件下可持续运行约12小时，满足一个完整班次的连续巡检需求。电池仓采用卡扣式快开结构，无需工具即可完成电池更换，减少作业间隙的等待时间。标准配置中附带点检气体，用户可定期向仪器通入已知浓度的标准气体进行灵敏度核查，确保检测数据的有效性。

COSMOS XP-703DIII便携半导体材料气体检漏 —— 参数与用途详解

检测对象气体： 半导体材料气体（砷烷、磷化氢、硅烷、氢气）

检测原理： 热线型半导体式

采样方式： 自动吸引式

各气体检测性能指标：

砷烷（AsH₃）—— 可检测泄漏量2.53×10⁻⁷ Pa·m³/s，可检测浓度0.5 μmol/mol

磷化氢（PH₃）—— 可检测泄漏量1.52×10⁻⁷ Pa·m³/s，可检测浓度0.3 μmol/mol

（B₂H₆）—— 可检测泄漏量1.01×10⁻⁷ Pa·m³/s，可检测浓度0.2 μmol/mol

硅烷（SiH₄）—— 可检测泄漏量2.53×10⁻⁷ Pa·m³/s，可检测浓度0.5 μmol/mol

氢气（H₂）—— 可检测泄漏量5.07×10⁻⁷ Pa·m³/s，可检测浓度0.1 μmol/mol

反应时间： 10秒以内（探测气体为可检测浓度3倍时，灵敏度设定为4）

报警方式： 断续声音及报警灯闪烁

电源： 5号碱性干电池（LR6）2节

连续使用时间： 约12小时（5号碱性干电池，常温常湿条件下）

保护等级： IP22相当（安装皮套时）

使用压力范围： 大气压（800~1100 hPa）

使用温度范围： 0℃~40℃

使用湿度范围： 85%RH以下（无结露现象）

外形尺寸： W38×H130×D32 mm（突出部分除外）

重量： 约190g（包含电池、皮套）

标配附件： 皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、5号碱性干电池2节

附加功能： 泵自动停止功能、自动气体排气模式

保护构造说明： IP2X（危险场所附近防异物进入）、IPX2（垂直15°范围内滴水无影响）

该机型主要应用于半导体制造工厂的掺杂工艺区域、外延生长车间及化学品供应管廊，对砷烷、磷化氢等剧毒气体的管道接口、阀门填料、法兰密封面进行逐点泄漏排查。同时适用于石油化学工厂中有毒气体处理装置的日常巡检，以及氢气站、加氢设施等氢气相关设备的安全防护检测。对于使用毒性气体的实验室研发场所，该设备同样可作为泄漏监测的辅助手段，在实验操作前后对气瓶柜和反应装置进行泄漏验证，确保实验环境符合安全规范。