产品简介

理研智能泵吸式气体检测传感器主机GD-70D是一款以泵吸引式采样为核心、强调传感器智能管理的固定式气体检测设备。主机内置传感器信息管理CPU，可自动读取并记录传感器单元的调节数据与趋势数据，实现运行状态的可追溯化。前面板配备大型字符LCD及独立指示灯，支持现场直接查看浓度、流量、通信及警报状态，适用于半导体工厂、液晶面板生产线等需连续监测特殊气体的工业场所。

一、理研智能泵吸式气体检测传感器主机GD-70D的硬件配置与智能管理特性

主机内部集成泵吸引机构、流量传感器、主控电路板及传感器单元接口，各模块之间采用独立分区布局。泵组支持徒手拆装，其连接通道预涂专用润滑脂以保证气密性；流量传感器采用热式检测原理，无活动部件，可长期维持检测稳定性。传感器单元接口采用防误插结构设计，安装时若原理或规格不匹配，屏幕会显示对应提示，避免因人为失误导致检测异常。

在智能管理方面，主机内置的CPU与传感器单元之间保持持续通信，可实时读取传感器内部存储的校正数据、运行时长及灵敏度变化趋势等信息。更换传感器后，主机自动完成新单元的识别与参数加载，无需使用外部工具进行重新设定，大幅缩短了维护作业时间。此外，主机还配备零位跟踪与灵敏度校正辅助功能，能够根据传感器原理特性对零点漂移和灵敏度劣化进行程序化补偿，延长传感器在校准周期内的有效工作时间。

数据显示与交互方面，前面板搭载白色背光的大型字符LCD，浓度值以数字和光柱表两种方式同步呈现，同时屏幕还显示流量条、通信收发状态、维护模式提示及禁止状态标志。两级警报灯与故障灯颜色区分明确，位置突出，即使在远距离或光线较差的环境下也能快速识别设备运行状况。

二、理研智能泵吸式气体检测传感器主机GD-70D的详细规格与典型用途

规格参数一览表

典型用途说明

本设备在半导体与液晶制造领域中，主要用于气瓶柜、化学气相沉积设备、刻蚀机台及洁净室回风夹层等关键位置的环境气体监测。根据所搭载的传感器单元不同，可检测硅烷、磷化氢、氯化氢、氨气、臭氧、一氧化碳、氢气、氧气以及TEOS、NF₃等多种气体。

当被测气体浓度达到或超过预设的两级报警阈值时，设备通过红色LED指示灯和继电器接点输出报警信号，同时故障检测机制持续监控泵流量、传感器通信及系统运行状态，异常发生时故障灯亮起并在屏幕上显示错误代码，便于现场人员快速定位问题。多种通信规格的选配方案使其能够灵活接入不同架构的上位管理系统，适用于新建产线或既有设备改造项目。