产品简介

理研固定式多原理通用气体检测部GD-70D是一款采用泵吸引式采样、支持多种传感器单元互换的智能型气体检测设备。主机搭载大型字符LCD显示屏，可实时显示浓度数值与光柱表，并配备独立的两级气体警报与故障警报指示灯。通过更换不同检测原理的传感器组件，可覆盖半导体工厂中常见的有毒气体、可燃气体及氧气浓度监测需求，适用于洁净室、气瓶柜等场所的连续气体检测

一、理研固定式多原理通用气体检测部GD-70D的选材与结构设计

主机壳体选用具备良好耐候性与耐化学性的工程塑料，表面经特殊涂装处理，可抵抗半导体环境中常见酸性气体及有机溶剂的轻微侵蚀，适用于洁净室及一般工业现场。壁挂安装基座采用金属材质，表面防锈处理，确保长期安装的结构稳定性。气体流路系统核心部件采用耐腐蚀材料，与特氟龙管路配合使用，可有效降低气体在采样路径中的吸附损耗，尤其适用于低浓度毒性气体的连续监测。

内部布局采用模块化分区设计，泵组、流量传感器、主控电路板及传感器接口各自独立成区，便于日常点检与部件更换。泵组单元支持徒手拆装，其连接通道处预涂专用润滑脂，可保证气密性与运行平稳性。流量传感器采用热式原理，无机械运动部件，长期使用不易出现零点漂移。所有内部电气连接均采用防误插结构设计，在更换传感器或泵组时无需重新配线，降低维护作业中的操作风险。

在交互与显示层面，前面板配备白色背光的大型字符LCD，可同时显示气体名称、浓度数字、光柱条、流量状态、通信状态及警报设定值位置。当设备处于维护模式时，屏幕会显示相应提示，此时警报接点自动断开，避免检修期间误触发外部联动设备。指示灯方面，电源灯为绿色常亮，两级警报灯分别为红色（1st与2nd独立显示），故障灯为黄色，各类状态一目了然。

二、理研固定式多原理通用气体检测部GD-70D的规格参数与适用场景

规格参数一览表

适用场景

本设备主要面向半导体制造、液晶面板生产及太阳能电池产业中特殊气体的泄漏监测需求。根据搭载的传感器单元类型不同，可检测的对象气体涵盖硅烷（SiH₄）、磷化氢（PH₃）、氯化氢（HCl）、氟化

（HF）、氨气（NH₃）、臭氧（O₃）、一氧化碳（CO）、氢气（H₂）、氧气（O₂）以及TEOS、NF₃等数十种气体。

在气瓶柜、化学气相沉积设备周边、刻蚀机台附近及洁净室回风夹层等高风险区域，该设备可连续采集环境空气并实时输出浓度信号。当浓度达到预设的两级报警阈值时，红色LED指示灯亮起，同时继电器接点动作，将报警信号传送至上位控制系统或声光报警装置。若选配热解组件PLU-70，还可实现对TEOS、NF₃等需要高温裂解后才能检测的特殊气体的测量。

主机支持多种通信方式选配，包括标准的4-20mA模拟量输出、DC电力线载波通信以及Ethernet网络通信，便于与不同层级的管理系统对接，满足新建项目或旧系统升级改造的多样化需求。