产品简介

加野3950超微型粒子计数器0.1μm内置泵是采用光散射法原理的紧凑型颗粒浓度检测设备，内置隔膜泵作为气源提供2.83L/min额定采样流量，同步输出0.1μm与0.3μm两个粒径通道的浓度数据。配备4.3英寸彩色触摸屏，集成RS485、Ethernet及USB多通讯接口，可存储10,000条CSV格式记录，适用于半导体设备机台嵌入、洁净室分级管理及高清洁度区域定点监控。

一、加野3950超微型粒子计数器0.1μm内置泵的检测精度与结构材料

该仪器在粒径分辨层面达到0.1μm级别，粒径分辨率优于15%（以0.3μm标准PSL粒子为标定基准），能够对亚微米尺度颗粒进行有效分类与计数。双粒径通道采用并行独立检测架构，单次采样同时完成0.1μm与0.3μm两个档位的浓度输出，相较单通道设备无需重复采样即可获取双粒径数据。计数效率指标方面，在最小可测粒径0.1μm附近对PSL粒子的计数效率为50±20%，在最小粒径1.5倍至2倍区间（0.15~0.2μm）达到100±10%，伪计数低于每35分钟1个，最大可测浓度限值为10,000,000个/ft³。以上性能指标均符合JIS B9921及ISO21501-4标准的技术规范。

内置泵系统是该设备的核心供气组件，采用高性能隔膜泵结构，免除了外接压缩空气或真空管路的需求，单机即可独立完成采样工作。额定流量2.83L/min（即0.1CFM），流量控制精度±5%。泵体经减振隔音处理，运行噪声控制在较低水平，适合在洁净室安静环境中长时间工作。采样气流通道选用耐腐蚀金属材料，内壁经低吸附表面处理工艺，减少粒子在传输路径中的管壁沉降与吸附损失。

单次测量时间可在6秒至99分59秒范围内连续调节，间隔时间同样支持6秒至99分59秒的自由设定，采样次数可配置为1至999次任意整数或切换至连续循环模式，适配从快速巡检到长期连续监测的多种作业节奏。设备内置六种测量模式：重复、单次、连续、计算、ISO、GB，其中ISO模式与GB模式分别依据国际标准化组织及中国国家标准的相关检测流程设计，便于用户按规范执行洁净室认证与年度检测任务。

仪器壳体采用工程塑料与内部金属骨架复合结构，兼顾整机刚性（净重3.4kg）与尺寸紧凑性（150mm×163mm×228mm）。内部光学引擎由激光二极管、光束整形透镜组及高灵敏度光电探测器构成，关键光路部件经防尘密封处理，降低洁净室环境中悬浮颗粒对光学系统的长期污染风险。触摸屏面板覆盖防划硬质涂层，耐受洁净室日常消毒擦拭操作。

数据显示界面为4.3英寸彩色液晶触摸屏，同步呈现累计值Σ、差分值△及柱形图三种数据形态，数据显示延迟可在1至10秒间调节。操作语言内置英语与日语两个选项。设备支持最多99个测试地点的预设与编号标记，便于多点位轮巡测量时数据按区域分类管理。

通讯接口配置方面，RS485串行通讯接口支持9600、19200、38400三种波特率设置，可接入工业现场总线网络实现与PLC等自动化设备的数据交互。Ethernet网口支持接入工厂局域网，便于远程数据访问与多机组网监控。USB Host接口支持打印机直出报告及U盘数据备份，USB Device接口支持与PC联机通讯。

二、加野3950超微型粒子计数器0.1μm内置泵的完整参数与应用领域

产品完整参数如下：

产品名称： 超小型粒子计数器
产品型号： 3950
产品品牌： 加野（KANOMAX）
测量原理： 光散射法
通道数量： 2
粒径通道1： 0.1μm
粒径通道2： 0.3μm
额定流量： 0.1CFM（2.83L/min）
流量精度： ±5%
品质标准： JIS B9921及ISO21501-4
单次测时： 6秒~99分59秒
间隔时长： 6秒~99分59秒
采样次数： 1~999次或连续
测点数量： 99个
测量模式： 重复/单次/连续/计算/ISO/GB共6种
数据显示延迟： 1~10秒
最大浓度限值： 10,000,000个/ft³
最小粒径计数效率： 50±20%（PSL粒子）
倍径计数效率： 100±10%（1.5~2倍最小粒径PSL）
伪计数限值： <1个/35min
粒径分辨率： 15%以下（0.3μm PSL粒子）
气源方式： 内置泵
屏幕规格： 4.3英寸彩色液晶触摸屏
USB-Host功能： 连接打印机及USB存储
USB-Device功能： 与PC链接通讯
有线网络接口： Ethernet
串行通讯接口： RS485（9600/19200/38400 baud）
最大存盘数： 10,000个
文件格式： CSV
操作语言： 英语、日语
供电电压： AC 100~240V
工作温度： 15~35℃
工作湿度： 0~85%RH（无结露）
设备宽度： 150mm
设备深度： 228mm
设备高度： 163mm
设备净重： 3.4kg
配套软件： PC端数据显示软件
适用场景1： 半导体制造设备嵌入
适用场景2： 洁净室清洁度管理
适用场景3： 高清洁度区域监控

该仪器在应用层面主要面向三类场景。第一类为半导体制造设备的内嵌安装，以150mm×228mm×163mm的外形尺寸与3.4kg的重量规格，可部署于光刻机、刻蚀机、涂布显影设备及离子注入机等精密机台的内部预留空间或侧方辅助区域。内置泵设计使设备无需外接气源管路即可独立工作，大幅简化了机台内部的安装布线，同时实现了短路径原位采样，有效缩短采样管路长度，降低颗粒在传输过程中的沉降与吸附损耗，确保测量结果真实反映设备内部工艺环境的颗粒浓度水平。第二类为洁净室清洁度分级管理与日常巡检，六种测量模式配合99点预设功能，支撑ISO 1级至6级洁净室的周期性检测、异常点位排查及年度认证工作。第三类为高清洁度区域的固定式在线监控，设备通过Ethernet网口或RS485串口将实时浓度数据上传至工厂环境监控中台或MES系统，实现连续数据采集与浓度趋势追踪。CSV格式的10,000条数据存储配合附赠PC端软件，便于用户完成历史数据归档、统计计算及合规检测报告的输出编制。USB接口同时提供了现场数据备份与纸质报告直出的便捷通道，提升了日常运维效率。