产品简介

加野3950高精度粒子计数器触屏RS485是基于光散射法原理的洁净环境颗粒检测设备，内置采样泵提供2.83L/min额定流量，同步检测0.1μm与0.3μm两个粒径通道。配备4.3英寸彩色液晶触摸屏与RS485串行通讯接口，同时集成Ethernet及USB双接口，可存储10,000条CSV格式记录，适用于洁净室分级管理、半导体设备配套及高清洁度区域在线监测。

一、加野3950高精度粒子计数器触屏RS485的测量性能与部件材质

该仪器在粒径检测层面达到0.1μm级别分辨能力，粒径分辨率优于15%（以0.3μm标准PSL粒子为标定基准），能够对亚微米尺度颗粒进行有效分类与计数。双粒径通道采用并行独立检测架构，单次采样同时输出0.1μm与0.3μm两个档位的浓度数据，较单通道设备无需重复采样即可获取双粒径信息。计数效率指标方面，在最小可测粒径0.1μm附近对PSL粒子的计数效率为50±20%，在最小粒径1.5倍至2倍区间（0.15~0.2μm）达到100±10%，伪计数水平低于每35分钟1个，最大可测浓度限值为10,000,000个/ft³。以上指标均符合JIS B9921及ISO21501-4标准的技术规范要求。

采样流量系统以内置隔膜泵为气源，额定流量2.83L/min（即0.1CFM），流量控制精度±5%。单次测量时间可在6秒至99分59秒范围内连续调节，间隔时间同样支持6秒至99分59秒的自由设定，采样次数可配置为1至999次任意整数或切换至连续循环模式，适配从快速巡检到长期连续监测的多种作业节奏。设备内置六种测量模式：重复、单次、连续、计算、ISO、GB，其中ISO模式与GB模式分别依据国际标准化组织及中国国家标准的相关检测流程设计，便于用户直接按规范执行洁净室认证与周期性检测任务。

仪器壳体采用工程塑料与内部金属骨架复合结构，兼顾整机刚性（净重3.4kg）与尺寸紧凑性（150mm×163mm×228mm）。内部光学引擎由激光二极管、光束整形透镜组及高灵敏度光电探测器构成，关键光路部件经防尘密封处理，降低洁净室环境中悬浮颗粒对光学系统的长期污染风险。采样气流通道选用耐腐蚀金属材料，内壁经低吸附表面处理工艺，减少粒子在传输路径中的管壁沉降与吸附损失。触摸屏面板覆盖防划硬质涂层，耐受洁净室日常消毒擦拭操作。整机无需外接压缩空气或真空管路，单机独立工作，降低了安装过程中引入外部污染源的概率。

数据显示界面为4.3英寸彩色液晶触摸屏，同步呈现累计值Σ、差分值△及柱形图三种数据形态，数据显示延迟可在1至10秒间调节。操作语言内置英语与日语两个选项。设备支持最多99个测试地点的预设与编号标记，便于多点位轮巡测量时数据按区域分类管理。

RS485串行通讯接口支持9600、19200、38400三种波特率设置，可稳定接入工业现场总线网络，实现与PLC、数据采集器、工控机等自动化设备的数据交互。Ethernet网口支持接入工厂局域网，便于远程数据访问与多机组网监控。USB Host接口支持打印机直出报告及U盘数据备份，USB Device接口支持与PC联机通讯。

二、加野3950高精度粒子计数器触屏RS485的完整参数与应用方向

产品完整参数如下：

产品名称： 超小型粒子计数器
产品型号： 3950
产品品牌： 加野（KANOMAX）
测量原理： 光散射法
通道数量： 2
粒径通道1： 0.1μm
粒径通道2： 0.3μm
额定流量： 0.1CFM（2.83L/min）
流量精度： ±5%
品质标准： JIS B9921及ISO21501-4
单次测时： 6秒~99分59秒
间隔时长： 6秒~99分59秒
采样次数： 1~999次或连续
测点数量： 99个
测量模式： 重复/单次/连续/计算/ISO/GB共6种
数据显示延迟： 1~10秒
最大浓度限值： 10,000,000个/ft³
最小粒径计数效率： 50±20%（PSL粒子）
倍径计数效率： 100±10%（1.5~2倍最小粒径PSL）
伪计数限值： <1个/35min
粒径分辨率： 15%以下（0.3μm PSL粒子）
气源方式： 内置泵
屏幕规格： 4.3英寸彩色液晶触摸屏
USB-Host功能： 连接打印机及USB存储
USB-Device功能： 与PC链接通讯
有线网络接口： Ethernet
串行通讯接口： RS485（9600/19200/38400 baud）
最大存盘数： 10,000个
文件格式： CSV
操作语言： 英语、日语
供电电压： AC 100~240V
工作温度： 15~35℃
工作湿度： 0~85%RH（无结露）
设备宽度： 150mm
设备深度： 228mm
设备高度： 163mm
设备净重： 3.4kg
配套软件： PC端数据显示软件
适用场景1： 半导体制造设备嵌入
适用场景2： 洁净室清洁度管理
适用场景3： 高清洁度区域监控

该仪器在应用层面主要面向三类场景。第一类为洁净室日常清洁度管理与分级认证，六种测量模式配合99点预设功能，覆盖ISO 1级至6级洁净室的周期性巡检、年度认证及异常点位排查等工作流程，通过触屏直接操作完成多点位数据采集，无需额外编程或复杂设置。第二类为半导体制造设备的内嵌式配套，以150mm×228mm×163mm的外形尺寸与3.4kg的重量规格，可部署于光刻机、刻蚀机、涂布显影设备及离子注入机等精密机台内部或侧方辅助空间，实现短路径原位采样，有效缩短采样管路长度，降低颗粒在传输过程中的沉降与吸附损耗，确保测量数据真实反映设备内部工艺微环境的颗粒浓度水平。第三类为高清洁度区域的固定式在线监控，通过RS485接口或Ethernet网口将实时浓度数据上传至工厂环境监控中台或MES系统，实现连续数据采集与浓度趋势追踪，配合CSV格式数据存储与附赠PC端软件，用户可完成历史数据归档、统计计算及合规检测报告的输出编制。USB接口同时提供了现场数据备份与纸质报告直出的便捷通道，提升了日常运维效率。