产品简介

加野3950超小型粒子计数器双通道0.1μm是专为高洁净环境监测设计的精密检测仪器，采用光散射法测量原理，内置采样泵，额定流量2.83L/min，同时监测0.1μm与0.3μm两个粒径档位。设备配备4.3英寸彩色触摸屏，支持RS485、Ethernet及USB多通讯接口，可保存10,000条CSV格式记录，适用于半导体设备嵌入、洁净室管理等场景。

一、加野3950超小型粒子计数器双通道0.1μm的性能与用材特性

该仪器在粒径检测能力上达到0.1μm级别分辨率，粒径分辨率优于15%（以0.3μm PSL粒子为基准），能够有效区分相近粒径的颗粒物。双通道并行检测架构允许用户单次采样同时获取0.1μm和0.3μm两个关键档位的浓度数据，采样效率较单通道设备提升一倍。计数效率方面，在最小可测粒径附近对PSL标准粒子的计数效率为50±20%，在最小粒径1.5至2倍区间（0.15~0.2μm）达到100±10%，伪计数低于每35分钟1个，最大可测浓度限值为10,000,000个/ft³，上述指标均符合JIS B9921及ISO21501-4标准要求。

采样流量系统采用内置泵作为气源，额定流量0.1CFM（即2.83L/min），流量控制精度±5%。单次测量时间可在6秒至99分59秒范围内调节，间隔时间同样支持6秒至99分59秒自由设定，采样次数支持1至999次或连续模式，适配从快速巡检到长期在线监控的多种作业节奏。测量模式内置重复、单次、连续、计算、ISO、GB共六种，其中ISO模式与GB模式分别对应国际与国内洁净室检测规范，便于用户按标准流程执行检测任务。

仪器外壳采用高强度工程塑料与金属框架复合结构，兼顾轻量化与结构刚性。内部光学系统由激光二极管、精密光束整形透镜组及高灵敏度光电倍增管构成，关键光学元件经防尘密封处理，降低洁净室内颗粒物对内部光路的污染风险。气流通道选用耐腐蚀金属材料，表面经特殊工艺处理，减少粒子在管路内壁的吸附与沉降。触摸屏表面覆盖防划硬质涂层，适应洁净室频繁擦拭消毒的使用环境。整机无外接气源管路，降低了安装过程中引入额外污染源的可能性。

数据显示方面，4.3英寸彩色液晶触摸屏同步呈现累计值Σ、差分值△及柱形图三种数据形态，显示语言支持英语与日语切换，数据显示延迟可在1至10秒间调节。测试地点最多可预设99个点位，方便大中型洁净室分区管理时按区域标记数据来源。

二、加野3950超小型粒子计数器双通道0.1μm的参数总览与应用领域

设备完整参数如下：

产品名称： 超小型粒子计数器
产品型号： 3950
产品品牌： 加野（KANOMAX）
测量原理： 光散射法
通道数量： 2
粒径通道1： 0.1μm
粒径通道2： 0.3μm
额定流量： 0.1CFM（2.83L/min）
流量精度： ±5%
品质标准： JIS B9921及ISO21501-4
单次测时： 6秒~99分59秒
间隔时长： 6秒~99分59秒
采样次数： 1~999次或连续
测点数量： 99个
测量模式： 重复/单次/连续/计算/ISO/GB共6种
数据显示延迟： 1~10秒
最大浓度限值： 10,000,000个/ft³
最小粒径计数效率： 50±20%（PSL粒子）
倍径计数效率： 100±10%（1.5~2倍最小粒径PSL）
伪计数限值： <1个/35min
粒径分辨率： 15%以下（0.3μm PSL粒子）
气源方式： 内置泵
屏幕规格： 4.3英寸彩色液晶触摸屏
USB-Host功能： 连接打印机及USB存储
USB-Device功能： 与PC链接通讯
有线网络接口： Ethernet
串行通讯接口： RS485（9600/19200/38400 baud）
最大存盘数： 10,000个
文件格式： CSV
操作语言： 英语、日语
供电电压： AC 100~240V
工作温度： 15~35℃
工作湿度： 0~85%RH（无结露）
设备宽度： 150mm
设备深度： 228mm
设备高度： 163mm
设备净重： 3.4kg
配套软件： PC端数据显示软件
适用场景1： 半导体制造设备嵌入
适用场景2： 洁净室清洁度管理
适用场景3： 高清洁度区域监控

在应用层面，该仪器主要面向三大领域。其一，半导体制造设备的内嵌式安装，凭借150mm×228mm×163mm的紧凑尺寸与3.4kg的轻量化设计，可部署于光刻机、刻蚀机、涂布显影设备等精密机台内部，实现短路径原位采样，避免长采样管路带来的粒子沉降损失，提升监测实时性与数据代表性。其二，洁净室日常清洁度管理，六种测量模式与99点预设功能支撑了ISO 1级至6级洁净室的分区巡检、定期认证及异常排查等常规工作。其三，高清洁度区域的定点监控，内置泵与宽电压电源设计使其可长期固定安装于药品灌装线、航天光学组件装配区、硬盘磁头制造车间等对颗粒污染极为敏感的场所，通过Ethernet或RS485接口将实时浓度数据上传至工厂环境监控中台，实现连续在线监测与超标报警联动。CSV格式的数据存储与附赠PC软件的配合使用，进一步降低了数据整理与趋势分析的难度。