产品简介

加野3950粒子计数器0.1微米2.83Lmin是面向高洁净度环境监测的精密仪器，采用光散射法原理，内置采样泵，可同时检测0.1μm和0.3μm两个粒径通道，额定采样流量2.83L/min。设备配备4.3英寸彩色触摸屏，支持RS485、Ethernet、USB多通讯接口，可存储10,000条CSV格式数据记录，适用于半导体制造设备嵌入、洁净室分级管理及高清洁度区域在线监控。

一、加野3950粒子计数器0.1微米2.83Lmin的检测性能与结构材质

该仪器在粒径分辨能力上达到0.1μm级别，粒径分辨率优于15%（以0.3μm标准PSL粒子为测试基准），能够对亚微米级颗粒物进行有效分类与计数。双通道同步检测架构允许单次采样同时获取0.1μm与0.3μm两个档位的浓度数据，避免了单通道设备需两次采样的时间损耗。计数效率指标方面，在最小可测粒径附近对PSL粒子的计数效率为50±20%，在最小粒径1.5倍至2倍区间（即0.15~0.2μm范围）达到100±10%，伪计数水平低于每35分钟1个，最大可测浓度限值为10,000,000个/ft³。以上性能指标均经JIS B9921及ISO21501-4标准验证。

采样流量系统以2.83L/min（即0.1CFM）为额定流量，流量控制精度±5%。单次测量时间可在6秒至99分59秒之间连续调节，间隔时间同样支持6秒至99分59秒的自由设定，采样次数可设为1至999次任意整数或切换至连续循环模式，适应从快速抽检到长期连续监测的多种作业需求。设备内置六种测量模式：重复、单次、连续、计算、ISO、GB，其中ISO模式与GB模式分别依据国际标准化组织及中国国家标准的相关检测流程设计，便于用户直接按照规范执行洁净室认证与年检任务。

仪器壳体采用工程塑料与金属骨架复合结构，在保障整机刚性的同时将净重控制在3.4kg。内部光学系统由激光二极管、光束整形透镜组及光电探测器构成，关键光路部件经防尘密封处理。气流通道选用耐腐蚀金属材料，内壁经低吸附表面处理工艺，降低粒子在采样路径中的沉降损耗。触摸屏表面覆有防划涂层，耐受洁净室日常清洁擦拭。整机无需外接压缩空气或真空管路，降低了安装过程中引入外部污染的风险。

数据显示界面为4.3英寸彩色液晶触摸屏，同步呈现累计值Σ、差分值△及柱形图三种数据形态，数据显示延迟可在1至10秒间调节。操作语言内置英语与日语选项。设备支持最多99个测试地点的预设与标记，便于多区域测量时数据归属管理。

二、加野3950粒子计数器0.1微米2.83Lmin的参数汇总与适用场景

产品完整参数如下：

产品名称： 超小型粒子计数器
产品型号： 3950
产品品牌： 加野（KANOMAX）
测量原理： 光散射法
通道数量： 2
粒径通道1： 0.1μm
粒径通道2： 0.3μm
额定流量： 0.1CFM（2.83L/min）
流量精度： ±5%
品质标准： JIS B9921及ISO21501-4
单次测时： 6秒~99分59秒
间隔时长： 6秒~99分59秒
采样次数： 1~999次或连续
测点数量： 99个
测量模式： 重复/单次/连续/计算/ISO/GB共6种
数据显示延迟： 1~10秒
最大浓度限值： 10,000,000个/ft³
最小粒径计数效率： 50±20%（PSL粒子）
倍径计数效率： 100±10%（1.5~2倍最小粒径PSL）
伪计数限值： <1个/35min
粒径分辨率： 15%以下（0.3μm PSL粒子）
气源方式： 内置泵
屏幕规格： 4.3英寸彩色液晶触摸屏
USB-Host功能： 连接打印机及USB存储
USB-Device功能： 与PC链接通讯
有线网络接口： Ethernet
串行通讯接口： RS485（9600/19200/38400 baud）
最大存盘数： 10,000个
文件格式： CSV
操作语言： 英语、日语
供电电压： AC 100~240V
工作温度： 15~35℃
工作湿度： 0~85%RH（无结露）
设备宽度： 150mm
设备深度： 228mm
设备高度： 163mm
设备净重： 3.4kg
配套软件： PC端数据显示软件
适用场景1： 半导体制造设备嵌入
适用场景2： 洁净室清洁度管理
适用场景3： 高清洁度区域监控

该仪器主要面向三类应用场景。在半导体制造领域，其150mm×228mm×163mm的紧凑外形与3.4kg轻量化设计，使设备能够嵌入光刻机、刻蚀机、涂布显影机等精密装备的内部或侧方空间，实现短路径原位采样，有效缩短采样管路长度，降低颗粒在传输过程中的沉降损失，提升监测数据的时效性与真实反映能力。在洁净室日常管理中，六种测量模式配合99点预设功能，支撑了ISO 1级至6级洁净室的分区巡检、定级认证及异常排查等常规工作。对于药品无菌灌装线、航天光学元件装配区、硬盘磁头制造车间等高清洁度场所，设备可通过Ethernet网口或RS485串口将实时测量数据上传至工厂环境监控系统，实现连续在线监测与浓度超标预警联动。CSV格式的数据记录配合附赠PC端软件，便于用户完成数据整理、趋势分析及合规报告编制。