产品简介

加野3950超小型计数仪双粒径嵌入式是专为有限空间内洁净度监测设计的紧凑型检测设备，基于光散射法原理工作，内置采样泵提供2.83L/min额定流量，同步输出0.1μm与0.3μm两个粒径通道的颗粒浓度数据。配备4.3英寸彩色触摸屏、RS485及Ethernet通讯接口，可存储10,000条CSV格式记录，主要面向半导体设备机台内部安装与洁净室定点监控场景。

一、加野3950超小型计数仪双粒径嵌入式的量测规格与组件材料

该仪器在粒径分辨层面达到0.1μm级别分辨率，粒径分辨率参数为15%以下（以0.3μm标准PSL粒子为标定基准），能够对亚微米尺度颗粒进行有效分类计数。双粒径通道采用并行独立检测架构，单次采样同时完成0.1μm与0.3μm两个档位的浓度输出，相较单通道设备避免了重复采样的时间成本。计数效率指标方面，在最小可测粒径0.1μm附近对PSL粒子的计数效率为50±20%，在最小粒径1.5倍至2倍区间（0.15~0.2μm）达到100±10%，伪计数低于每35分钟1个，最大可测浓度限值为10,000,000个/ft³。上述性能指标均符合JIS B9921及ISO21501-4标准的技术规范。

采样流量系统以内置隔膜泵为气源，额定流量2.83L/min（即0.1CFM），流量控制精度±5%。单次测量时间可在6秒至99分59秒范围内连续调节，间隔时间同样支持6秒至99分59秒的自由设定，采样次数可配置为1至999次任意整数或切换至连续循环模式。设备内置六种测量模式：重复、单次、连续、计算、ISO、GB，其中ISO模式与GB模式分别依据国际标准化组织及中国国家标准的相关检测流程设计，便于用户按规范执行洁净室认证与年度检测任务。

仪器外壳采用工程塑料与内部金属骨架复合结构，兼顾整机刚性（净重3.4kg）与便携性。内部光学引擎由激光二极管、光束整形透镜组及高灵敏度光电探测器构成，关键光路部件经防尘密封处理，降低洁净室环境中悬浮颗粒对光学系统的污染风险。采样气流通道选用耐腐蚀金属材料，内壁经低吸附表面处理工艺，减少粒子在传输路径中的管壁沉降。触摸屏面板覆盖防划硬质涂层，耐受洁净室日常消毒擦拭操作。整机无需外接压缩空气或真空管路，单机独立工作，降低了安装过程中引入外部污染的概率。

数据显示界面为4.3英寸彩色液晶触摸屏，同步呈现累计值Σ、差分值△及柱形图三种数据形态，数据显示延迟可在1至10秒间调节。操作语言内置英语与日语两个选项。设备支持最多99个测试地点的预设与编号标记，便于多点位轮巡测量时数据按区域分类管理。

二、加野3950超小型计数仪双粒径嵌入式的完整参数与应用方向

产品完整参数如下：

产品名称： 超小型粒子计数器
产品型号： 3950
产品品牌： 加野（KANOMAX）
测量原理： 光散射法
通道数量： 2
粒径通道1： 0.1μm
粒径通道2： 0.3μm
额定流量： 0.1CFM（2.83L/min）
流量精度： ±5%
品质标准： JIS B9921及ISO21501-4
单次测时： 6秒~99分59秒
间隔时长： 6秒~99分59秒
采样次数： 1~999次或连续
测点数量： 99个
测量模式： 重复/单次/连续/计算/ISO/GB共6种
数据显示延迟： 1~10秒
最大浓度限值： 10,000,000个/ft³
最小粒径计数效率： 50±20%（PSL粒子）
倍径计数效率： 100±10%（1.5~2倍最小粒径PSL）
伪计数限值： <1个/35min
粒径分辨率： 15%以下（0.3μm PSL粒子）
气源方式： 内置泵
屏幕规格： 4.3英寸彩色液晶触摸屏
USB-Host功能： 连接打印机及USB存储
USB-Device功能： 与PC链接通讯
有线网络接口： Ethernet
串行通讯接口： RS485（9600/19200/38400 baud）
最大存盘数： 10,000个
文件格式： CSV
操作语言： 英语、日语
供电电压： AC 100~240V
工作温度： 15~35℃
工作湿度： 0~85%RH（无结露）
设备宽度： 150mm
设备深度： 228mm
设备高度： 163mm
设备净重： 3.4kg
配套软件： PC端数据显示软件
适用场景1： 半导体制造设备嵌入
适用场景2： 洁净室清洁度管理
适用场景3： 高清洁度区域监控

该仪器在应用层面主要面向三类场景。第一类为半导体前道制程设备的内嵌安装，以150mm×228mm×163mm的外形尺寸与3.4kg的重量规格，可部署于光刻机、刻蚀机、涂布显影设备及离子注入机等精密机台的内部预留空间或侧方辅助区域，实现短路径原位采样，大幅缩短采样管路长度，从物理层面降低颗粒在传输过程中的沉降与吸附损耗，确保测量结果真实反映设备内部工艺环境颗粒浓度。第二类为洁净室清洁度分级管理与日常巡检，六种测量模式配合99点预设功能，支撑ISO 1级至6级洁净室的周期性检测、异常点位排查及年度认证工作。第三类为高清洁度区域的固定式在线监控，设备通过Ethernet网口或RS485串口将实时浓度数据上传至工厂环境监控中台或MES系统，实现连续数据采集、浓度趋势分析及超标阈值报警联动。CSV格式的数据存储配合附赠PC端软件，便于用户完成历史数据归档、统计计算及合规检测报告的输出。